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具有極佳熱氧化穩定性的不燃性介電PFPE液體
全氟聚醚和氟化學品

具有極佳熱氧化穩定性的不燃性介電PFPE液體

ChipChill®PFPE傳熱流體是一種高介電常數的PFPE傳熱流體,適用於半導體蝕刻和精確的溫度控制。 ChipChill®RC系列是一種不可燃、不含氫的冷卻液,設計用於-100°C至300°C以上的溫度範圍。它為PVD、CVD和浸沒式冷卻系統提供卓越的熱穩定性和化學惰性,在這些系統中,可靠性至關重要。

    終極介電冷卻劑

    ChipChill® RC PFPE冷卻液:用於半導體和電子冷卻的高精度熱管理

    ChipChill® RC 是一款優質的無氫 PFPE 導熱液,專為在最嚴苛的電子和半導體環境中實現精確的溫度控制和卓越的介電絕緣性能而設計。作為一種全氟化線性聚合物,ChipChill® RC PFPE 導熱液兼具極高的熱穩定性和化學惰性,可在 -100°C 至 300°C 以上的溫度範圍內保持液態並發揮有效作用。與有易燃或電氣擊穿風險的傳統冷卻液不同,ChipChill® 提供了一種不可燃、高介電強度 (>25kV) 的解決方案,確保零殘留和絕對安全。對於管理蝕刻腔、離子注入機或高功率變壓器的工程師而言,這款 PFPE 導熱液是最大限度延長正常運作時間並保護敏感、高成本組件免受熱應力影響的理想之選。

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    用於工業冷凍乾燥機的低溫冷卻液 PFPE
    用於電力變壓器和雷達冷卻的高介電強度PFPE冷卻劑

    先進分子工程與 材料完整性

    ChipChill® RC 的卓越之處在於其精密的分子結構。 PFPE(全氟聚醚)鏈完全由碳、氟和氧原子構成,因此具有天然的抗氧化和抗熱降解性能。我們獨特的合成過程確保了其超純、無氫的組成,這正是其無毒且對臭氧層友好的關鍵。

    在材料相容性方面,ChipChill® RC PFPE 冷卻液對工業硬體具有極佳的「友善性」。與以下材料接觸時,不會有任何膨脹或降解:



    1. 金屬:不銹鋼、鋁、銅和特殊合金。


    1. 塑膠:聚四氟乙烯(PTFE)、全氟烷基因鋁(PFA)和高性能工程聚合物。


    1. 彈性體:Viton、Kalrez 和常見的含氟橡膠。

     

    戰略應用場景及技術解決方案

    ChipChill® RC 不僅僅是一種冷卻劑;它也是多個高科技垂直市場中至關重要的性能提升因素:

    • 01

      半導體製造

      針對蝕刻機(PVD、CVD)和離子注入機系統進行了最佳化,在這些系統中,精確、可重複的溫度控制對於晶圓良率至關重要。

    • 02

      電氣和雷達系統

      利用其高介電強度防止電弧產生,為變壓器、電源和雷達陣列提供必要的冷卻。

    • 03

      製藥和化學加工

      對於需要低溫流動性和耐化學性的冷凍乾燥機和腐蝕性加工環境而言,是不可或缺的。

    • 04

      核工業

      其高輻射穩定性使其成為生產 UF6 和其他敏感核應用的安全可靠介質。

    關鍵績效 優勢

    1. 固有不燃性:由於沒有閃點或燃點,因此消除了高溫作業中發生熱失控或火災的風險。
    2. 超低介電常數:最大限度減少高頻電子應用中的訊號幹擾。
    3. 極端溫度適應性:RC130 至 RC260 等等級的產品比市面上幾乎所有其他含氟液體都具有更寬的工作範圍。
    4. 環境責任:無毒、無腐蝕性,且被歸類為環境安全(不破壞臭氧層)。
    ChipChill RC PFPE傳熱流體,用於半導體晶圓蝕刻和溫度控制

    技術的 規格

    特性

    典型值

    年級

    L2-06

    L2-14

    L3-16

    L3-25

    H3-25

    H4-40

    分子量(AMU)

    1,850

    2,600

    2,800

    3,450

    3,650

    4,300

    運動黏度

    (ASTM D445)@ 20℃(厘斯)

    65

    150

    163

    260

    275

    463

    黏度指數

    (ASTM D2270)

    72

    98

    105

    110

    118

     

    每點(°C)

    (ASTM D97)

    -52

    -45

    -45

    -35

    -35

    -32

    蒸氣壓

    @ 25℃ (托)

    @ 100℃ (托)

    7x10-7

    3x10-3

    1x10-7

    2x10-4

    2x10-6

    2x10-4

    5x10-7

    5x10-5

     

     

    汽化熱

    200℃(卡/克)

    11

    8

    8

    7

    7

    7

    密度(ASTM D891)

    20℃ (g/cm3)

    1.88

    1.89

    1.90

    1.91

    1.91

    1.91

    表面張力

    (達因/公分)

    21

    22

    22

    22

    20

    20

    蒸發損失

    22小時 @ 149℃(重量百分比)

    * 120℃下保溫22小時

    4*

    4

    3.5

    0.8

    0.5

     

    最終總壓力

    (托)

    1.7×10⁻³

    1.4×10⁻³

    2.4×10⁻³

    1.2×10⁻³

     

     

    單位石油消耗量

    (立方公分/小時)

    0.4

    0.6

    0.5

    0.7

     

    ChipChill® PFPE 流體的基本特性

    特性

    單位

    價值觀

    比熱容(25℃)

    卡/(克℃)

    0.23

    25℃時的熱傳導率

    W/m.℃

    0.07

    25℃時的介電強度

    kV(2.54mm間隙)

    >25

    介電損耗tanδ @25℃

     

    水的溶解度

    ppm(重量)

    15

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